一種圓片級發(fā)光二極管芯片檢測方法、檢測裝置及其透明探針卡。

此檢測方法包括：提供一透明探針卡，且透明探針卡覆蓋于圓片的上方，并以透明探針卡的接點(diǎn)電性連接LED芯片的測試墊，以對LED芯片進(jìn)行一點(diǎn)亮測試。當(dāng)LED芯片發(fā)光后，對LED芯片的光信號進(jìn)行一成像處理，以形成一影像于一感測元件上。擷取影像，并將影像的信號轉(zhuǎn)換成對應(yīng)于各個LED芯片的一光場信息及一位置信息。根據(jù)LED芯片的光場信息，得到LED芯片的光譜及發(fā)光強(qiáng)度。根據(jù)LED芯片的光譜及發(fā)光強(qiáng)度，以對LED芯片進(jìn)行分類。本發(fā)明還揭露一種應(yīng)用上述檢測方法的圓片級LED發(fā)光二極管芯片檢測裝置及透明探針卡。

上述的檢測方法、檢測裝置及其透明探針卡，具有提高檢測速度及快速分類的優(yōu)點(diǎn)。